MEMS/반도체 센서 연구실(BMNR lab)
MEMS/반도체 센서 연구실(BMNR lab)에서는 MEMS 기반의 센서를 적용한 다양한 연구를 진행하고 있습니다.
대표적인 연구내용으로 i) MEMS 기반 Micro GC 시스템 제작, ii) MEMS 센서, 광이온화 센서 설계 및 열/유체 디자인 최적화, iii) Pre-concentrator용 나노 다공성 흡착제 개발, iv) MEMS 구조 설계 구연을 위한 etching 공정 설계 및 최적화, v) 열전 냉각 기술을 이용한 의료용 온도 제어 냉각장치 개발, vi) 고성능차 시트 센서 기반 인체공학적 최적화 연구 등을 들 수 있습니다.
Link Principal investigator: 서정환 교수