과목소개

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교과목명 [석사] 미세전자기계시스템 (MEMS)

과목코드 1162061 │ 학점 3 | 주관전공 고체/생산

미세 전자기계시스템(MEMS 및 MEMS)에 대한 전반적인 내용을 공부한다. 구체적으로는 미시적 전달현상 이론 및 해석, Fabrication 공정, 전자재료, MEM의 설계기초 및 응용분야를 포함한다.