홍익대학교 공과대학 기계시스템디자인공학과 반도체/MEMS 센서 Lab을 이끌고 있는 서정환 교수 연구팀이 우리나라 기계분야 대표 학술단체 대한기계학회와 국내 최대 반도체·디스플레이 핵심장비를 생산하는 삼성전자 자회사인 세메스가 공동으로 개최한 ‘제5회 KSME-SEMES 오픈 이노베이션 챌린지’에서 영예의 대상으로 선정되었다.

‘오픈 이노베이션 챌린지’는 우리나라 기계 산업 발전을 위해 산학 협력을 강화하고 미래 기술 혁신을 위한 아이디어 발굴을 위하여 대한기계학회와 세메스가 공동 주최하고 과학기술정보통신부와 산업통상자원부가 후원하여 개최되었다.

올해 공모전에는 국내 100여개 연구팀이 참여하였고, 이들 중에서 27개 본선 진출팀 (전문가 그룹 13팀/젊은 공학자 그룹 14팀)을 1차로 선발하고, 최종 발표 심사를 거쳐 대상 1팀, 금상 2팀, 은상 2팀, 동상 6팀을 선정하여 12월에 개최되는 2020년도 대한기계학회 학술대회에서 시상식을 거행한다.

 본교의 기계시스템디자인공학과 서정환 교수와 배성국·심광민 박사과정 연구원, 윤완식 석사과정 연구원으로 구성된 BMNR Lab(Biomedical and Nanotechnology Lab)팀은 ‘마이크로 Gas Chromatography (GC) 기반 반도체 웨이퍼 플라즈마 클리닝 공정 중 발생하는 기체상 물질 실시간 현장 계측 장비 기술 개발’이라는 주제를 제안하여 대상 수상이라는 큰 영예를 안게 되었다.

서정환 교수 연구팀이 제안한 마이크로 GC 기술은 기체 혼합물을 실시간으로 정량 분석이 가능한 기술로서, 반도체 공정 장비에 적용이 될 경우 공정 현황을 실시간 모니터링하고 제어할 수 있어 수율 향상에 크게 기여할 수 있어 큰 호평을 받았다.

본 대회에서 대상에 선정된 서정환 교수 연구팀은 1,000만원의 상금을 지원받는다. 이와 함께 제안한 아이디어를 산학 과제로 연계하여 연구를 수행하게 되며, 산학연구를 수행하는 연구팀원에게는 세메스 입사 특전도 얻게 된다.

 대상을 수상한 서정환 교수 연구팀의 연구내용은 대한기계학회 학술대회 KSME-SEMES 특별세션 (12월 17일, 강원랜드 컨벤션센터)을 통해 공개될 예정이다.